新闻资讯

气浮光学平台介绍

添加时间:2020-05-18 点击:

介绍:该系列光学是我公司气浮隔振光学平台的一种,又称作主动式隔振光学平台,这个系列光学平台,分为台面和自水平支架两部分,该平台全部钢制结构制造,有着优越的稳定性和定制优化的阻尼比,光学台面具有高精度的平面度,精细的光洁度(又叫粗糙度),和出色的外观。结构上表面为高精度数控龙门磨床精密研磨,抛光和亚光处理,中心为钢制蜂窝结构,下表面为钢制底板,该结构具有优秀的钢性和热稳定性。

气浮光学平台主要结构特性:

厚度

150  200  250 毫米150 或  150毫米,200毫米 或 250 毫米

标准尺寸

可选范围从 (1米 x 0.8米)到 (3.0米 x 1.5米)

螺纹孔

标准矩阵式25x25mm孔距,M6螺纹孔

构造

6毫米厚的高导磁不锈钢面板和底板, 以及全钢制蜂窝结构和侧板

 

侧边

全304不锈钢侧面底板封边,保证光学平台清洁的同时又提高了美观性

 

表面处理

可选亚光和平光

隔振方式

空气弹簧主动隔振

设计

每个平台都经过单独优化、检验,和测试

 

隔振系统

该系统分为竖直隔振和水平隔振两种方式。

竖直方向:竖直隔振采用双气室阻尼空气弹簧隔振系统执行,支撑光学平台的空气弹簧隔振器采用复合材料气囊做成,双气室使空气通过层流阻尼器从一个室流到另一个气室,减少了地面与平台之间的振动,极大减少了调整时间,并且通过优化气室的体积比,最大限度减少共振频率,提高产品性能。

水平方向:通过安装在支架上三点式悬架系统控制垂直隔振器来实现

调平系统

由安装在自水平框架上的三个高精度调整系统实现,该系统具有三个高精度的调平阀,通过调节隔振器及气室中的空气补给,可以使台面受到干扰后,快速精确的实现重新调平定位,

支撑框架

全部支撑结构均采用进口机器人自动焊接成型

组合方式

整个平台采用钢-钢接合,提高热稳定性,支架采用框架式结构,配有调平地脚和脚轮,方便在地面不平整的场地调整和移动

 

气浮光学平台主要参数特点

平整度

任意1平方米内的表面平整度是±0.1mm,局部可以达到±0.03mm

 

光洁度

≤0.8μm

固有频率

垂直隔振:≤1.2-2Hz

水平隔振:≤1.5-2Hz

振幅

≤1.2um

重复定位精度

±0.1mm

垂直度

±1度

螺纹孔精度

±0.03mm

孔距精度

±0.05mm

沉孔精度

±0.05mm

工作压力

标准1.5-4MPa

空气源

无油静音空压机,噪音<46db

载重

该系列光学平台不适合重载操作,一般最大可达1000kg

调节范围

可调节支脚具有±15 mm的行程范围

 



 

 

 

 

 



首页
电话
短信
联系