介绍:该系列光学是我公司气浮隔振光学平台的一种,又称作主动式隔振光学平台,这个系列光学平台,分为台面和自水平支架两部分,该平台全部钢制结构制造,有着优越的稳定性和定制优化的阻尼比,光学台面具有高精度的平面度,精细的光洁度(又叫粗糙度),和出色的外观。结构上表面为高精度数控龙门磨床精密研磨,抛光和亚光处理,中心为钢制蜂窝结构,下表面为钢制底板,该结构具有优秀的钢性和热稳定性。
*气浮光学平台主要结构特性:
厚度 | 150 200 250 毫米150 或 150毫米,200毫米 或 250 毫米 |
标准尺寸 | 可选范围从 (1米 x 0.8米)到 (3.0米 x 1.5米) |
螺纹孔 | 标准矩阵式25x25mm孔距,M6螺纹孔 |
构造 | 6毫米厚的高导磁不锈钢面板和底板, 以及全钢制蜂窝结构和侧板
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侧边 | 全304不锈钢侧面底板封边,保证光学平台清洁的同时又提高了美观性
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表面处理 | 可选亚光和平光 |
隔振方式 | 空气弹簧主动隔振 |
设计 | 每个平台都经过单独优化、检验,和测试
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隔振系统 | 该系统分为竖直隔振和水平隔振两种方式。 |
竖直方向:竖直隔振采用双气室阻尼空气弹簧隔振系统执行,支撑光学平台的空气弹簧隔振器采用复合材料气囊做成,双气室使空气通过层流阻尼器从一个气室流到另一个气室,减少了地面与平台之间的振动,极大减少了调整时间,并且通过优化气室的体积比,最大限度减少共振频率,提高产品性能。 | |
水平方向:通过安装在支架上三点式悬架系统控制垂直隔振器来实现 | |
调平系统 | 由安装在自水平框架上的三个高精度调整系统实现,该系统具有三个高精度的调平阀,通过调节隔振器及气室中的空气补给,可以使台面受到干扰后,快速精确的实现重新调平定位, |
支撑框架 | 全部支撑结构均采用进口机器人自动焊接成型 |
组合方式 | 整个平台采用钢-钢接合,提高热稳定性,支架采用框架式结构,配有调平地脚和脚轮,方便在地面不平整的场地调整和移动
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*气浮光学平台主要参数特点
平整度 | 任意1平方米内的表面平整度是±0.1mm,局部可以达到±0.03mm
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光洁度 | ≤0.8μm |
固有频率 | 垂直隔振:≤1.2-2Hz |
水平隔振:≤1.5-2Hz | |
振幅 | ≤1.2um |
重复定位精度 | ±0.1mm |
垂直度 | ±1度 |
螺纹孔精度 | ±0.03mm |
孔距精度 | ±0.05mm |
沉孔精度 | ±0.05mm |
工作压力 | 标准1.5-4MPa |
空气源 | 无油静音空压机,噪音<46db |
载重 | 该系列光学平台不适合重载操作,一般最大可达1000kg |
调节范围 | 可调节支脚具有±15 mm的行程范围
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