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光学平台的主动隔振原理

添加时间:2020-05-18 点击:

 我们上面讨论的阻尼式隔振平台和气浮式隔振平台,均是不考虑fd(作用于精密隔振系统的直接干扰)和u(作用于隔振系统的主动控制力)的情况(见 图6),这种隔振系统我们称为被动隔振系统。 

当存在外力干扰fd 时,我们通常需要提供反向的主动控制力,以便让整套系统保持隔振状态。若fd 频繁变化,则需要有较高灵敏度的传感器, 以及精密型驱动装置(通常为压电式或磁致式), 提供反方向的力或位移,这就是主动隔振系统的工作原理。 
  目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术,但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。

光学平台的主动隔振原理(图1)

 



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