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AE型气浮隔振垫

AE型空气弹簧AE型空气弹簧主要应用于半导体制造及检测装、SEM/TEM.激光加工装置、精密STAGE装置、精密制造,视觉检测,三坐标等,具有恢复时间短,隔振效果好,使用寿命长等显著特点。配合流量调节阀,水平调节阀等精密气动元件可实现调整系统刚度和隔振性能
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AE型气垫式隔振器

AE型空气弹簧

  AE型空气弹簧主要应用于半导体制造及检测装、SEM/TEM.激光加工装置、精密STAGE装置、精密制造,视觉检测,三坐标等,具有恢复时间短,隔振效果好,使用寿命长等显著特点。配合流量调节阀,水平调节阀等精密气动元件可实现调整系统刚度和隔振性能。

     产品参数及选型表:

型号

尺寸D

尺寸L

尺寸H

工作行程

负载

固有频率

垂直

水平

ZH-AE-15

75mm

——

77mm

±2.0mm

65-100KG

3.0Hz

3.5Hz

ZH-AE-25

120mm

I82mm

87mm

±2.5mm

110-170KG

2.5Hz

2.8Hz

ZH-AE-50

130mm 

198m 

100mm

 ±2.5mm 

260-400KG

2.5Hz

2.8Hz

ZH-AEB-100

200mm

275mm

100mm

±2.5mm

630-950KG

2.5Hz

2.8Hz

ZH-AEB-150

230mm

305mm

100mm

±2.5mm

1017-1526KG

2.5Hz

2.8Hz

ZH-AEB-200

260mm

350mm

100mm

±2.5mm

1420-2130KG

2.5Hz

2.8Hz

ZH-AEB-250

300mm

390mm

100mm

±2.5mm

1967-2950KG

2.5Hz

2.8Hz

AE型气垫式隔振器(图1)

AE型气垫式隔振器(图2)


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